控制室防靜電地板
控制室防靜電地板,人身體上的靜電很明顯,時(shí)而摸一樣?xùn)|西的時(shí)候,自身都被輕微電擊一下。靜電電壓時(shí)而高達(dá)數(shù)千伏,但能量很低。電路中,有大量的半導(dǎo)體器件,尤其是MOS結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件,SiO2結(jié)緣層特薄,幾百伏的靜電就可以把絕緣層擊穿,受損元器件。并且,這類受損通常是1種隱性受損,可以這么說,從外電路檢驗(yàn)短時(shí)間辨別不出,但長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)用時(shí)易于失靈。半導(dǎo)體器件的靜電受損,要利用掃描電鏡才可以觀測(cè)到.
